釕銥鈦陽極鈍化有以下幾個方面的原因。
1)涂層剝落
鈦釕銥鈦陽極由鈦基體和釕銥鈦活性涂層組成，起電化學反應作用的只是釕銥鈦活性涂層，如果涂層和基體結合不夠牢固，從鈦基體上脫落下來，脫落到一定程度，鈦釕銥鈦陽極就失去作用。（分為粉碎狀脫落、凸肚狀層剝及開裂型脫落）
2）涂層存在裂縫
電解時在釕銥鈦陽極上生成新生態氧，其中有一部分在活性涂層與電解液界面上放電，然后離開陽極表面生成氧氣進入溶液;由于活性涂層存在裂縫，而另一部分氧吸附在陽極表面上，通過擴散或遷移方式透過活性涂層到達涂層與鈦基體界面上，然后氧被化學吸附在鈦基體表面上，與鈦生成不導電的氧化膜（TiO2），產生反向電阻；或者是電解液透過涂層裂縫侵入，鈦基體被慢慢氧化，與釕銥鈦活性涂層界面受到腐蝕使釕銥鈦活性涂層脫落，導致釕銥鈦陽極電位升高。電位的升高進一步促進涂層的溶解和鈦基體的氧化。
3）RuO2溶解
降低氧的發生，則可減緩氧化膜的生成。當電解的總電流密度增加時，氯生成速度增加比氧生成速度增加要大得多，所以電流密度增加有利于氯中含氧量的降低。鈦基體進行預氧化處理，先形成一層氧化膜，這樣可增加釕銥鈦活性涂層與鈦基體的結合力，使涂層牢固，可防止釕的脫落與溶解，但也會引起釕銥鈦陽極歐姆降的升高。
4）氧化物飽和
活性涂層是由非化學計量的RuO2-和TiO2組成，屬于缺氧氧化物。真正作為氯放電活化中心的是非化學計量氧化物，此種氧化物越多，活性中心就越多，釕銥鈦陽極的活性就越好。釕銥鈦涂層陽極的導電性能，是從同晶型的RuO2和TiO2經熱處理生成畸變的n型混合晶所呈現的性能，其中存在一些氧空缺，當這些氧空缺被氧填滿時，過電位迅速上升，導致鈍化。
