在早期的機(jī)械拋光工藝相當(dāng)耗時(shí)，而且?guī)缀跛械臋C(jī)械拋光方法在最后一步或最后兩步拋光過程中使用含有侵蝕劑的拋光液。

　　電解拋光的方法往往能夠得到較好的拋光表面，但是在電解拋光過程中電解液存在著一定得危險(xiǎn)，這些電解液也具有一些化學(xué)拋光的作用。

　　二十世紀(jì)70年代和80年代，鈦及鈦合金的機(jī)械拋光方法仍舊延續(xù)著老的拋光方法，Springer 和Ahmed在1984年首次發(fā)表了關(guān)于鈦及鈦合金的拋光方法文章。

　　這就是三步的樣品拋光方法，假設(shè)使用320grit砂紙來完成樣品的磨平工序，但是情況可能不一定總是這樣。如果樣品切割時(shí)使用的是超薄的切割片或者是粘接強(qiáng)度合適的砂輪切割片，其切割表面平整且其損傷層最小，這時(shí)可以使用320grit砂紙來完成樣品的磨平工序。如果切割后的表面粗糙且損傷層較大。例如：使用帶鋸切割就可能產(chǎn)生這樣的結(jié)果，此時(shí)就必須使用顆粒更粗的砂紙和花費(fèi)一定的時(shí)間來去除損傷層。

　　Springer 和Ahmed鈦合金三步拋光技術(shù)

　　1. 磨平，使用320grit砂紙水冷，磨制2~3分鐘，去除切割產(chǎn)生的損傷層，并使樣品表面平坦。使用320grit SiC砂紙，水冷，轉(zhuǎn)速240 RPM，同向轉(zhuǎn)動(dòng)*，壓力：27N（6lbs）/每個(gè)樣品，直到樣品磨平為止。

　　注：去除切割損傷層是打磨的基礎(chǔ)任務(wù)，如果去除不凈，直接后果是觀察到的現(xiàn)象可能為假象。

　　2. 粗拋光，把9μm的metaDI?金剛石拋光膏預(yù)先涂抹在帶孔的TEXMET?拋光布上，使用蒸餾水做為冷卻潤滑劑，拋光10~15分鐘。粗拋光過程：9μm metaDI金剛石拋光液+ metaDI拋光潤滑劑，使用ULTRA-PAD?拋光表面，轉(zhuǎn)速120 RPM, 反向轉(zhuǎn)動(dòng)**，壓力：27N（6lbs）/每個(gè)樣品，時(shí)間10min。

　　3. 最終拋光，使用MICROCLOTH?或者M(jìn)ASTERTEX?拋光布，添加MASTERMET?二氧化硅懸浮拋光液，拋光10~15分鐘。最終拋光過程：在MICROCLOTH拋光表面上，使用MASTERMET 二氧化硅拋光液，轉(zhuǎn)速120 RPM, 反向轉(zhuǎn)動(dòng)，壓力：27N（6lbs）/每個(gè)樣品，時(shí)間10min。

　　注：在拋光過程中，樣品需要定時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)方向，大多數(shù)金屬合金中存在硬質(zhì)相，如果不轉(zhuǎn)動(dòng)方向，拋光的樣品在硬質(zhì)相上會(huì)有黑色的“長尾巴”，影響金相質(zhì)量，解決“長尾巴”問題的關(guān)鍵在于轉(zhuǎn)動(dòng)樣品的方向。每次可以轉(zhuǎn)90度或180度。

　　G. Müller鈦合金三步拋光技術(shù)

　　1. P500砂紙水冷卻，轉(zhuǎn)速300 rpm、每個(gè)樣品上的壓力16.7N（3.75lb）、制備時(shí)間所有樣品磨平為止。

　　2. P1200砂紙水冷卻，轉(zhuǎn)速300 RPM、每個(gè)樣品上的壓力16.7N（3.75lb）、制備時(shí)間30S。

　　注：具體時(shí)間依據(jù)個(gè)人拋光情況定，時(shí)間參數(shù)只是一個(gè)參考，通常拋光會(huì)采用手工拋光，沒有這樣先進(jìn)的設(shè)備，所以參數(shù)會(huì)有所不同。

　　3. 使用人工合成無絨毛拋光布+含有化學(xué)腐蝕劑的二氧化硅懸浮拋光液，拋光機(jī)轉(zhuǎn)速150 RPM，拋光時(shí)間：每個(gè)樣品上壓力 33N（7.5lb）10分鐘，每個(gè)樣品上壓力 16.7N（3.75lb）2分鐘，每個(gè)樣品上壓力 8N（2lb）1分鐘。

　　4. 拋光劑成分：260ml SiO2+40ml H2O2 (濃度30%),1mlHNO3 + 0.5mL HF。FEPA標(biāo)準(zhǔn)的P500和P1200砂紙粒度，分別對(duì)應(yīng)ANSI/CAMI標(biāo)準(zhǔn)320/360 和600 grit砂紙。